中圖儀器VT6000材料3D觀察測量共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理,，在相同物鏡放大的條件下,，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高,。它具有直觀測量的特點,，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務,。借助共聚焦顯微鏡,，能有效提高工作效率，實現(xiàn)更準確的操作,。

VT6000共聚焦顯微鏡對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量,，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中?？蓽y各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)影像測量功能：設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進行長度,、角度,、半徑等尺寸測量；

3)自動拼接功能：設備具備自動拼接功能,，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5)分析工具功能：設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結構分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6)批量分析功能：設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

7)便捷操作功能：設備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等,；

8)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能,，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命,；

9)鏡頭安全功能：設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,，進入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險,。

不同應用場景下的3D形貌

主要應用于半導體,、光學膜材、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,，其次是對表面粗糙度、面積,、體積等參數(shù)的檢測中,。

3D形貌圖片：

影像測量功能界面

VT6000材料3D觀察測量共聚焦顯微鏡結構簡單，儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,，控制單元集成在設備主機之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動，實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設計,。

部分技術指標